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| 规格 | 10质量流量计 | 11质量流量控制器 | 描述 |
| 精度 | ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S) | 调零后在标准条件下 | |
| 重复性 | ± 0.2% | 满量程 | |
| 量程可调范围 | 0.5% 到 100% 全量程 | 测量和控制 | |
| 量程可调比 | 200 : 1 | ||
| 典型反应时间 | 10 | 100 | 毫秒 |
| 标准工况 (STP) | 25oC 与 14.696PSIA | 质量流量的参考工况 | |
| 工作温度 | −10 到 +50 | oC | |
| 零点漂移 | 0.02% | 满量程 / oC / Atm | |
| 满量程漂移 | 0.02% | 满量程 / oC / Atm | |
| 工作湿度范围 | 0 到 100% | 非冷凝 | |
| *大可控流量 | 102.4% | 满量程 | |
| *大工作压力 | 145 | PSIG | |
| 输入 / 输出信号(模拟) | Mass Flow | 0-5Vdc, 0-10Vdc 或 4-20mA 可选 | |
| 电信号接口 | 15-Pin D-Sub (DB15) | ||
| 供电电压 | 15-30Vdc | ||
| 供电电流 | 0.040Amp | 0.250Amp | |
| 对安装方式/方向的要求 | 无 | ||
| 启动预热时间 | < 1 | 秒 | |
| 材质 | 10 Meter: 303 & 302 不锈钢, Viton®, 硅胶 RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝 11 Controller: 303 & 302 不锈钢, Viton®, 硅胶 RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝, 黄铜, 430FR 不锈钢, 硅, 玻璃 | ||
